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技術文章

日本鏡面平板基材表面缺陷檢測技術介紹

日本鏡面平板基材表面缺陷檢測技術介紹

 

表面缺陷檢測設備(一般)

表面欠陥検査裝置(通常タイプ)

應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理,達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護的光學系統根據選配,可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。

 

製品の特長

  • 1即時顯示所有表面狀態。

  • 2光學系統對應等級1

  • 3光學系統無須維護。

  • 4根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。

檢測尺寸 從φ100mm至φ300mm
檢測內容 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率 1x / 3x 模式可切換(標準設備)
檢測靈敏度 檢測靈敏度可連續調整
使用光源 550nm (固定照度之穩定光源)
鏡頭 高解析度CCD鏡頭
平臺 手動平臺(標準設備)
用途
鏡面晶圓的表面檢測
滑線檢測
玻璃基板檢測
其他鏡面基板檢測
選配
電動馬達檢測平移臺
自動判定缺陷影像處理裝置
影像列印機
搬運裝置
  • ※ 可以隨時在敝公司內展示。

  • ※ 可將樣品寄送過來,之后我們再將影像結果回寄。

 


聯系人:林經理
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