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超快光學相干斷層掃描 3D 測量傳感器測試原理分析

超快光學相干斷層掃描 3D 測量傳感器測試原理分析


在白光干涉測量中,光源發出的光被分束器分成兩束,一束被目標反射,另一束被參考鏡反射,然后進入傳感器。當這兩個光程長度接近相同值時,就會發生光干涉,亮度變化(幅度)增大。繪制光線最有建設性的點并將它們拼接在一起形成一個大波浪。這股巨浪的波峰點,會準確的代表到目標的距離。通過改變 3D 測量設備的高度或改變參考鏡的位置,找到兩個光程長度相等的點。

為了準確地重建大波浪的形狀,需要準確地獲取光線具有建設性的點,而這需要獲取大量的層析圖像。因此,使用普通傳感器的測量時間會變得很長。heliInspect 系列使用創新的傳感器技術來顯著減少測量時間。

1、超高速信號測量

  • 每秒高達 100 萬次信號測量 = 相當于 100 萬 fps 的相機

  • 高速移動載物臺時瞬時采集干涉波形

2.智能傳感器

  • 每個元件都有處理電路,采集到的信號在元件上進行分析

  • 干擾波形包絡的采樣數據以5000幀/秒的速度輸出到后級

3.FPGA

  • 相機內部后級FPGA高速運算檢測干擾峰

  • 最后只輸出以表面高度信息為亮度值的圖像。


產品形態

Ultra-heliotis 的超高速傳感器有以下兩種形式。

heliInspect H9/H8/H6/H4

heliInspect H 系列是一種測量單元類型,可將測量所需的組件(例如傳感器、光學系統和 Z 載物臺)封裝在一個緊湊的外殼中。
可根據所需的視野/水平分辨率進行選擇,可用于在線測量應用和研究應用等廣泛的應用領域。

heliCam C4


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