日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液加熱器
CS-HEATEF 半遵體裂造丁□七久CS匕-夕 夕U-少安全·小型·勸率左口>乜升上Ut不>萬個(gè)型藻液加熟裝置。 CSE一夕(Clean & Safe Heater)估半源體表造無口乜又℃O洗凈用、V少卜剝雕用等、各槿藻液O 高溫加熟用七U乙、短晴問忙仁精度大<溫度制御寸否習(xí)八(外東1>51少七一夕℃寸。接液部志全乙高輥度O石英力于又、未尤高出力八口分>萬>才辦5四近赤外腺光I大否放射加熟O大幼、不鲀物污染O心配不要杠高勸率O加熱裝置℃寸。■特 長(zhǎng)1.2-> 加熟部排高鈍度透明石英辦二重管稿造、加熟方式法八口少>>工I求動(dòng)放射加熟方式D尤協(xié)、接液部溫度護(hù)低<力與又成分O溶出在小限仁抑乏、一夕破損I求石聚液污染O心配毛態(tài)D末世人。2.安全 AIC-8-12 ■使 用例 事用O習(xí)外口-5之相合世、各錘安全模能及U、警根糙能I大D安全性C對(duì)成U表寸。3.小型 ==配管5個(gè)v倡號(hào)于 小型股tø龍b.力r沙又于-匯少等O裝置內(nèi)粗認(rèn)辦方容易℃寸。4.高u)加然動(dòng)率 加熱勸率90%以上工衣兒書-口又辦少東U省工不理耘放℃走夫才。5.七一夕交換方容易 應(yīng)萬不丘習(xí)6zσ-習(xí)~ E-夕(八口分>5>7)O交換l、少又于厶D配管左外寸二七女<一方向辦⑤容易IE℃表隸寸。6.機(jī)尤制御上操作性 ■仕 梯 PID制潤(rùn)匯求D高精度O溫度制御、各穗操作·警輥表示老丁外口-節(jié)前面八宋兒忙集中U.外部通售樓能O檁津裝偏I(xiàn)叔少少又元么概成忙店U大使用O置報(bào)辦℃杏隸寸。■用 途 工AA-光-不AH-6-AH9V-人AM123-K 型式的以SG二引 如 然 為出它一 9 電力 量溫 度 投 定 乾 用 1.LSI裂造才口t又℃O高溫處理液O加熟口少□-兒 濕 度 制 即 精 度濕 度 制 銅方 式溫變?cè)O(shè) 定方式溫度 表示方式 ●抽散前洗凈液(了少毛二嚴(yán)遇水、墟酸淌水)●窒化膜除去液(U酸)●歲卜剝雕液(硫酸遇水) 2.子O他分野飛O各稚藻液歷加熟習(xí)少口一兒●金X少豐等OX少豐液、前處理液、洗凈液、他 配管徑(題用繼手)菌預(yù)系辟容內(nèi)壓安全概都 加 熟 耦 造 列 部 通 石英管斷然材 W150×D450×H165 v 加然外形寸法 n5.5kg 重重 對(duì)m 外o-= 電 源(50/6OH2) 二.L OQ第 ▲品 AlH-123QS *印∶當(dāng)社擔(dān)當(dāng)截朋處理槽 滌左配O配普?qǐng)A體1例態(tài)示對(duì)tO℃、乙和Iiz限備 tO℃l部n隸世人。 -中加然工三外】花左 操后點(diǎn)名放轉(zhuǎn)加熱方式r配性Re器互接徑已方 12kW 6kW (@新液辦鍵組.避系D全魅容能.收支>等o使用條件C求D翼存動(dòng)) ±0.3℃ (但U,使用瑞境條件一定℃℃ZHD值段定O達(dá)t)PID剛間(C外夕一付志UPDOWN豐-上乙般定控泛夕兒表示4桁(少D.1℃C) 人口分>2>萬液C直接觸機(jī)息UM股加然方式 20mm目輕1單W-歲方花分M企GA 0.5MPa(5kgf/em2) 本習(xí)理制防止,空焚態(tài)防止,液門對(duì)脫養(yǎng),自已劇斷被能14項(xiàng)目換出持出力停止-警餐表示.警報(bào)專接點(diǎn)出力 o×H200 w210D47×H20 W250×D4 狗7.7kg__ _L約100kg W75×D278H250 約9.0kg 的13.0kg Ac20/20e AC20020gy AC2020sv 單相1617A AC200208v 罩相64,G5A 單相48(49A 單相3233A 注A意 7y酸、苛性力U節(jié)有被溶劑標(biāo)之,蘗液O植頸節(jié)流量求-飛時(shí)使用℃冬東唱合加蘇D未寸0 亡注文ø前必步書問L合b材<犬i。跡1突起部體含動(dòng)求世人。
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